iGX600M 干式泵 200-230V 50/60 Hz,PN:A54632958 iGX600M 干式泵 380-460V 50/60 Hz,PN:A54632959 应用 负载锁 输送 计量 平版印刷 PVD 制程 PVD 预清洁 RTA 剥离/灰化 氧化物腐蚀 硅腐蚀 金属腐蚀 植入源 功能和优势: 低运行成本 与 iL/iH 干泵相比,设施成本较多可降低 50% *预防性维护 灵活的安装选项 小巧轻便,便于安装 工具上、近程或远程 可以改进工具吞吐量 可用的较快的负载锁定泵之一 全程一致的泵送性能 在 50 和 60 Hz 下抽速相同 降低了环境噪音 仅 55 dB(A) 峰值速度范围宽 100、300、600 和 800 m3h-1 峰值速度: 620 m3h-1 365 cfm 10333 l min-1 极限压力: 7.00E-04 mbar 5.25E-04 Torr 0.07 Pa 700 Torr 排气压力下的极限 极限: 1.6 kW AUC(有源设备控制器): 0.05 kW 水入口*: 2 slm 氮: 4 或 14 slm 占地面积(不包括排气装置): 0.20 m2 重量: 220 kg 进气口连接: ISO100 出口连接: NW25 极限噪音: < 55 dB(A)