iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相,PN:A59020908 iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相,PN:A59020945 iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相,PN:A59020946 iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相,PN:A59020957 Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照较高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时较大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。 Edwards iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。 应用 负载锁 输送 计量 平版印刷 PVD 制程 PVD 预清洁 RTA 剥离/灰化 刻蚀 植入源 HDP CVD RTP SACVD MCVD PECVD LPCVD ALD 功能和优势 优化了设施消耗。 *预防性维护。 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。 在节省电机功率的同时较大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**。 整体式轴杆*使用电机联结器,而*五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。 峰值速度: 600 m3h-1 353 cfm 10000 l min-1 极限真空: 7 x 10-4 mbar 5.3 x 10-4 Torr 0.07 Pa 典型轴封氮流量: 4 slm 进气口连接: ISO100 出口连接: NW40 15 psi 压降下典型冷却水流量: 240 l h-1 4 l min-1 重量: 415 kg 极限功率输入: 3.4 kW 电机额定功率: 6.1 kW 油容量: 1.43 l