爱德华干式真空泵 iH1800HTX 维修

iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59042908
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59042945
iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59042946
iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59042957
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59062945

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照较高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时较大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。 
  
Edwards 专为需要较高的工作温度以避免制程气体冷凝的工艺（如 300 mm LPCVD 氮化物）而设计。


应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

 

功能和优势

优化了设施消耗。
*预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时较大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**。
整体式轴杆*使用电机联结器，而*五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

峰值速度:  1800 m3h-1
           1060 cfm
           30000 l min-1
极限真空:  1 x 10-3 mbar
           7.5 x 10-4 Torr
           0.1 Pa
典型轴封氮流量:  4 slm
进气口连接: ISO160
出口连接:   NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 240 l h-1
                             4 l min-1
重量:         502 kg
极限功率输入: 4.1 kW
电机额定功率: 7.0 kW
油容量:       1.6 L